惠山区无尘车间等级标准

无尘车间洁净度等级标准ISO14644-1根据悬浮颗粒浓度的唯壹指标，划分洁净室及相关控制
一.万级无尘室标准
1.蕞大允许颗粒数(每立方米)，≧0.颗粒数不能超过3.5万微米，≧5微米颗粒数不能超过2000个；蕞大允许颗粒数(每立方英尺)，≧0.5微米颗粒数不能超过1万个.单位转换:1m³=35.3ft³).
2.微生物蕞大允许数：浮游菌数不超过100个m³;沉隆菌数不得超过3个
3.压差:不同洁净等级相邻洁净室之间的压差应为≧5pa，洁净室和非洁净室之间≧10pa。
二.万级洁净室对温度、湿度要求
1.冬季：温度20~22222℃，湿度40~50%
2.夏季：24~26℃/±2℃，湿度50~70%
三.影响因素
1.风量(新风、回风、送风、通风次数、万级≧20次/h
2.风速：0.25m/s~0.5m/s
3.正压：≧5pa环境压力
4.噪音：70分贝（dB）
四.滤网的级别
1.G1对粒径≧5.0um，过滤效率≧20%
2.G2对粒径≧5.0um，50-20%的过滤效率
3.G3对粒径≧5.0um，70-50%的过滤效率
4.G4对粒径≧5.0um，90-70%的过滤效率
5.F7对粒径≧1.0um，过滤效率90＞E≧70%
6.F8对粒径≧1.0um，过滤效率90＞E≧75%
7.F9对粒径≧1.0um，过滤效率99＞E≧90%
8.H12对粒径≧0.5um，过滤效率≧99.9%
9.H13对粒径≧0.5um，过滤效率为≧99.99%（99.97%-99.99%）H17）
10.H14对粒径≧0.5um，过滤效率为≧99.999%

洁净室压差控制
1.压差实质:新风量和排气量压差风量之间的平衡
DC系统：新风量=排风量压差风量
循环系统：新风量回风量=回风量排风量压差风量
本质是：新风量=排风量压差风量
因此：洁净室压差的建立和调，应反映新风量、排风量压差风量之间的平衡
对于循环系统，输送一定的风量，一般可根据要求调整排气量，然后调整回风量，建立压差。
注：洁净室送风量要求一定，因此不能作为控制变量。
2.引起洁净室压差波动的外扰因素及对策:
A.送风系统过滤器阻力变化
B.户外风压
要求:围护结构和门密封性能好，洁净室对外≥10pa压差。保持邻近洁净室的压差。≥5pa压差。
C.洁净室门的启闭影响压差，温度也影响空气对流速度。Δt=0℃，开门空气交换量为0.19m³/s，Δt=2℃，则达0.24m³/s。
为避免回流（反吸），流经门的空气速度应为>0.2m/s。（ISO14644-4中提到的保持低压差所需的气流速率)。.25m³/s-0.5m³/s气流速率。
保持压差的对策：选择闭环控制，设置缓冲室或气闸。
D.洁净室压差会导致回流，因此需要选择闭环控制，避免压差起伏。