惠山区无尘车间等级划分

发布时间：2022-09-21 13:27:44 浏览：2492次

惠山区无尘车间告诉您所谓无尘车间是一个人工环境，其粒子远低于一般环境。随着集成电路技术的快速发展，对制造环境（无尘车间）的清洁度和静态度的需求也增加了。即使工业粒子的尺寸小于1μm，也可能阻碍产品的运行或缩短其使用寿命。由于奈米技术的兴起，半导体的关键尺寸不断缩小，集成电路的积聚度不断增加，灰尘颗粒更容易使芯片失效或可靠性恶化。例如，当金属灰尘颗粒落入金属导线时，金属导线可能会短路。如果酸性离子化合物灰尘颗粒落在金属导线上，可能会腐蚀，因此无尘车间是集成电路不可缺少的元素。

无尘车间设备根据美国联邦政府颁布的标准，惠山区无尘车间可分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、1万级、1万级。如果无尘车间的等级仅用粉尘颗粒的数量来描述，则可以假设粉尘颗粒的.5μm，例如，东莞1级、10级、100级无尘车间的粉尘颗粒数量等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0，.5μm，无尘车间的等级应以特定尘粒尺寸的等级来表示。例如：10级为0.2μm(尘粒尺寸为0.2μm或更大，密度不超过75个/立方英?).1μm(尘粒尺寸为0.1μm或更大，密度不超过35个/立方英?)。集成电路制造所需的无尘车间洁净度须优于1000级。
为了保持无尘车间的清洁度，进出人员有一定的着装规定；1万级和1万级，须穿长衫、无尘鞋、帽子和面具；1000级以上，需要穿特殊的清洁连身衣，包裹全身，戴手套和面具，下表为无尘车间清洁度的概念：
尘粒数/立方英
级数0.1μm0.2μm0.3μm0.4μm0.5μm
1357.531N/A
10350753010N/A
100N/A750300100N/A
1000N/AN/AN/A10007
10000N/AN/AN/A1000070
100000N/AN/AN/A100000700